鈰銨 16774-21-3現(xiàn)貨報(bào)價(jià)
山東德盛新材料有限公司
2026-03-30 16:40:03






二元掩模(Binary Mask):芯片、面板、MEMS 的標(biāo)準(zhǔn)鉻掩模圖形化
相位偏移掩模(PSM):半色調(diào) / 衰減型 PSM 的鉻層蝕刻
掩模返工:不合格鉻層整體去除、基板回收 reuse
科研 / 小批量:實(shí)驗(yàn)室鉻掩模、微納結(jié)構(gòu)制備
七、常見問題與解決
側(cè)蝕過大:降低溫度、縮短時(shí)間、降低 CAN 濃度、增加攪拌
殘鉻 / 黑膜:提高酸濃度、延長后沖洗時(shí)間、更換新鮮蝕刻液
光刻膠脫落:檢查顯影是否徹底、降低蝕刻溫度、更換耐酸膠




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劉學(xué)強(qiáng)
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