快速退火爐的硬件更換

快速退火爐采用先進的微電腦控制系統(tǒng)和PID閉環(huán)控溫，可達到較高的控溫精度和溫度均勻性，并可根據(jù)用戶工藝要求配備真空室或多路氣體。

??快速退火爐采用鹵素紅外線燈作為熱源，通過較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而消除晶圓或材料的部分缺點，提高產(chǎn)品性能。

??快速退火爐（芯片熱處理設備）廣泛應用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體、功率器件等各種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，以及歐姆接觸的快速合金化、離子注入退火、氧化物生長、應力 浮雕在致密化、致密化等工藝中，采用快速熱處理來改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，技術(shù)指標高，工藝復雜，特異性強。

??快速退火爐硬件更換

??1、加熱燈更換：加熱燈高于使用年限或不亮需要更換。 加熱燈的使用年限為3000小時，在高溫下其使用年限會下降。

??2、真空泵油更換：使用過程當中，請每季度觀察一次真空油表。 當油量表顯示油量小于1/3時，請將真空泵潤滑油加到油量表的一半以上。

??3、熱電偶更換：測溫異?；驌p壞時需要更換熱電偶。 熱電偶的正常使用年限為3個月，其使用年限因環(huán)境因素而縮短。

??4、更換O型圈：O型圈表層有明顯損壞或不可密封時，需要更換O型圈。 其使用年限受外力和溫度因素的影響。