文章摘要: 真空容器殼體及內(nèi)部零件與密封材料需滿足機械強度、氣密性、化學與熱穩(wěn)定性、低飽和蒸氣壓、良好工作性能及加工性能等多重要求,同時兼顧成本效益與挑選可行性。對真空容器殼體及內(nèi)部零件材料的要求①有足夠的機械強度和剛度來保證殼體的承壓能力。②氣密性好。
真空容器殼體及內(nèi)部零件與密封材料需滿足機械強度、氣密性、化學與熱穩(wěn)定性、低飽和蒸氣壓、良好工作性能及加工性能等多重要求,同時兼顧成本效益與挑選可行性。
對真空容器殼體及內(nèi)部零件材料的要求
①有足夠的機械強度和剛度來保證殼體的承壓能力。
②氣密性好。要保持一個完好的真空環(huán)境,器壁材料不應存在多孔結構、裂紋或形成滲漏的其它缺點。有較低的滲透速率和出氣速率。
③在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低(對超高真空系統(tǒng)來說尤其重要)。
④化學穩(wěn)定性好。不易氧化和腐蝕,不與真空系統(tǒng)中的工作介質及工藝過程當中的放氣發(fā)生化學反應。
⑤熱穩(wěn)定性好。在系統(tǒng)的工作溫度(高溫與低溫)范圍內(nèi),保持良好的真空性能和機械性能。
⑥在工作真空度及工作溫度下,真空容器內(nèi)部器件應保持良好的工作性能,滿足作業(yè)工藝的要求。
⑦有不錯機械加工性能及焊接性能。
對密封材料的要求
①有足夠低的飽和蒸氣壓。一般低真空時,其室溫下的飽和蒸氣壓力應小于1.3×10-1~1.3×10-2Pa。高真空時,應小于1.3×10-3~1.3×10-5Pa。
②化學及熱穩(wěn)定性好。在密封部位,不因合理的溫升雨發(fā)生軟化,發(fā)生化學反應或揮發(fā),甚至被大氣沖破。
③有一定的機械及物理性能。冷卻后硬化的固態(tài)密封材料、可塑密封材料或干燥后硬化的封蠟等,要可以平滑地緊貼密封表層,無氣泡、無皺紋。當溫度變化時,不應變脆或裂開。液態(tài)或膠態(tài)密封材料應保持原有粘性。
④某些密封材料應能溶于某些溶劑中,以便更換時易于清洗掉。
對真空中應用的材料除上述要求外,在某些情況下還必須考慮其電學性能、絕緣性能、光學性能、磁性能和導熱性能等等。
當然,除了材料的以上性能外,還要考慮材料的成本、利用率及挑選的可能性等。
真空材料的選材原則
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